챔버 부품
Chamber Parts
진공 챔버 본체와 리드, 플랜지류. 가공 후 진공 리크 테스트를 거쳐 출하합니다.
주 재질 · Al 6061 / SUS 316L
Precision Machining for Semiconductor Equipment
도면을 받아 깎고, 3차원 측정기로 재고, 세정해서 성적서와 함께 보냅니다. 챔버 부품·전극·척·가스라인 부품을 장비사에 납품합니다.
Machining Fields
반도체 전공정 장비에 들어가는 부품을 가공합니다. 장비 완제품은 제조하지 않습니다.
Chamber Parts
진공 챔버 본체와 리드, 플랜지류. 가공 후 진공 리크 테스트를 거쳐 출하합니다.
주 재질 · Al 6061 / SUS 316L
Electrode / Focus Ring
식각 공정 소모성 부품. 평면도와 표면조도가 수율에 직결되어 전수 측정합니다.
주 재질 · Si / SiC
Chuck / Susceptor
웨이퍼가 직접 닿는 부품. 미세 홀 가공과 평탄도 관리가 핵심입니다.
주 재질 · Al / 세라믹
Gas Line / Manifold
공정 가스 유로 부품. 내면 조도 관리와 파티클 제거 세정을 함께 진행합니다.
주 재질 · SUS 316L BA
Jig & Fixture
장비 조립·검사용 치공구. 단품 소량부터 대응합니다.
주 재질 · Al / SUS / Ti
Custom Machining
위 분류에 없어도 도면을 보내주시면 가공 가능 여부와 납기를 회신드립니다.
단품 1개부터 · 양산까지
Equipment
협력사 검토에 필요한 설비 정보를 그대로 공개합니다. 실사 전에 미리 확인하실 수 있습니다.
| 설비 | 수량 | 가공·측정 범위 |
|---|---|---|
| 5축 머시닝센터 | 4대 | 복합 형상 일괄 가공 · 최대 가공 1,000 × 600mm |
| 수직 머시닝센터 (VMC) | 12대 | 최대 가공 1,600 × 800mm |
| CNC 선반 | 8대 | 최대 척킹 지름 500mm |
| 와이어 방전가공기 | 3대 | 가공 정밀도 ±0.003mm |
| 3차원 측정기 (CMM) | 2대 | 측정 정밀도 ±0.002mm · 전수 측정 대응 |
| 표면조도 측정기 | 1대 | Ra 0.01㎛ 단위 측정 |
| 진공 리크 테스터 | 1대 | 헬륨 리크 검사 · 챔버 부품 기밀 검증 |
| 초음파 세정 라인 | 2기 | 다단 세정 · 순수 린스 · 건조 |
| 클린룸 | 1실 | Class 1,000 · 조립 및 최종 검사 전용 |
Quality Control
가공이 끝났다고 출하하지 않습니다. 측정과 세정을 거쳐 기록을 남기고 보냅니다.
| 지표 | 값 | 관리 방법 |
|---|---|---|
| 가공 공차 | ±0.005mm | 3차원 측정기 전수 또는 샘플링 측정 |
| 납기 준수율 | 98.7% | 수주 시점 납기 확정 · 공정별 진척 관리 |
| 공정 불량률 | 0.28% | 공정 간 중간 검사 2회 |
| 연 가공 수량 | 약 42,000점 | 양산 및 단품 합산 |
Track Record
고객사명은 비밀유지계약에 따라 공개하지 않습니다. 협력사 심사 과정에서 요청하시면 별도 확인 절차를 통해 안내드립니다.
Process
도면 접수부터 출하까지, 담당자 한 사람이 끝까지 맡습니다.
STEP 01
가공 가능 여부와 공차 실현성을 먼저 확인해 회신드립니다.
STEP 02
수량과 재질에 따른 단가, 확정 납기를 함께 제시합니다.
STEP 03
공정 설계 후 가공. 공정 간 중간 검사를 2회 진행합니다.
STEP 04
3차원 측정기로 검사하고 성적서를 작성합니다.
STEP 05
초음파 세정 후 클린룸에서 최종 검사·포장합니다.
STEP 06
측정 성적서를 동봉해 납품합니다.
Company
2011년 CNC 선반 3대로 시작해 지금은 설비 30대, 직원 42명입니다.
2011
경기 화성 향남에 설립 · CNC 선반 3대로 시작
2013
ISO 9001 취득 · 장비사 1차 협력사 등록
2015
벤처기업 확인 · 제2공장 증설
2018
ISO 14001 취득 · 5축 머시닝센터 도입
2020
클린룸 Class 1,000 구축
2022
소재·부품·장비 전문기업 선정
2024
제3공장 준공 · 연 매출 100억 돌파
| 설립 | 2011년 3월 |
|---|---|
| 직원 | 42명 (기술직 31 · 관리 11) |
| 사업장 | 경기도 화성시 향남읍 · 공장 3동 |
| 사업 분야 | 반도체 장비 부품 정밀가공 |
Contact
도면을 보내주시면 가공 가능 여부와 예상 납기를 영업일 기준 1일 안에 회신드립니다.
Address
경기도 화성시 향남읍 발안공단로
Hours
평일 08:30 – 17:30
토·일요일 및 공휴일 휴무